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 olivia chan ? 2020-08-10 17:52:01　來(lái)源：前瞻網(wǎng)　E11340G0

大族激光8月10日在互動(dòng)平臺(tái)表示，公司在研光刻機(jī)項(xiàng)目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等方面的應(yīng)用，目前已接到少量訂單。

光刻機(jī)是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細(xì)圖形通過(guò)光線的曝光印制到硅片上。而光刻機(jī)是中國(guó)芯片發(fā)展的最大障礙。

企查貓資料顯示，大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司成立于1999年3月4日，注冊(cè)資本106,706.5245萬(wàn)元人民幣，法定代表人為高云峰。

眾所周知，高端芯片制造所需的光刻機(jī)一直以來(lái)被荷蘭ASML公司壟斷，一臺(tái)精密光刻機(jī)售價(jià)上百億，而我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)起步較晚，光刻機(jī)技術(shù)與ASML的差距非常大。

ASML在7nm級(jí)別，而大族激光僅為μm級(jí)別(1μm是1000nm)。因?yàn)楣饪虣C(jī)每上一個(gè)臺(tái)階技術(shù)難度就會(huì)大大增加，可能從90nm升級(jí)到65nm并不難，但是從65nm升級(jí)到45nm，就是一個(gè)技術(shù)節(jié)點(diǎn)了，上升到7nm更是難上加難。

據(jù)有關(guān)媒體報(bào)道，光刻機(jī)正成為華為的第四場(chǎng)戰(zhàn)役。據(jù)悉，余承東在一次百人大會(huì)上的時(shí)候透露過(guò)，早在四年前，華為就已經(jīng)為接下來(lái)集團(tuán)的布局做好準(zhǔn)備了，他們?cè)?016年的時(shí)候就已經(jīng)成立了團(tuán)隊(duì)去研發(fā)光刻機(jī)，現(xiàn)在已經(jīng)取得了很大的進(jìn)展。

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網(wǎng)址: 1μm=1000nm！大族激光稱在研光刻機(jī)分辨率達(dá)3 http://www.u1s5d6.cn/newsview1728595.html